转发基金委:2023年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目 ——“芯片亚纳米级制造前沿探索”项目指南
为贯彻落实党中央、国务院关于加强基础研究和提升原始创新能力的重要战略部署,国家自然科学基金委员会(以下简称自然科学基金委)工程与材料学部拟资助“芯片亚纳米级制造前沿探索”原创探索计划项目(以下简称原创项目)。 后摩尔时代芯片先进制程工艺将迈入1 nm节点,亚纳米级制造贯穿芯片制造工艺的全流程。然而,亚纳米制造涉及从经典连续力学行为到量子行为的跨越,存在原子间、原子与能场间复杂的相互作用,因此亟需发展面向未来芯片的亚纳米级制造新原理与新方法。...