一、项目简介：本项目获国家自然科学基金等项目资助。硅片传输机器人是集成电路（IC）制造装备中的重要设备，也是IC制造装备中的关键技术。本硅片传输机器人的特点是高精度、高速度、高洁净，可满足半导体制造业中高精度、高净化的环境要求，控制系统采用基于PC平台、具有开放式体系结构和网络功能的机器人控制器。硅片传输机器人的技术指标已达到国外同类产品的水平。该技术项目开发的硅片传输机器人系列化产品为极坐标型机器...

一、产品和技术简介压电动态测力仪为系列化产品：三向车削测力仪、三向铣削测力仪、三向磨削测力仪、两向钻削测力仪。每种有不同的型号和规格，适用于各种金属切削加工中切削力（扭矩）的动态测量。其中三向压电车削动态测力仪曾获国防科委重大科技成果四等奖、国家经委优秀产品飞龙奖、辽宁省科技进步三等奖、大连市科技成果二等奖，并获得发明专利。无定心钻削测力仪也获得发明专利。三向压电石英力传感器获辽宁省科委科技进...

一、产品和技术简介智能三维振动加速度测量仪可实时检测被测物品受到的三维加速度（振动），将经历的加速度值按时间段存储，并可随时打印数据。通过了沈阳变压器研究所的技术鉴定。二、应用范围铁路贵重物品运输，如大型变压器等，需要振动监测场合。同样也可对路况进行测试，获得行车数据。目前已为沈阳变压器研究所设计了该装置。三、规模与投资如能形成良性产、供、销循环，前期的投入将在几个月内收回，需要具有操作上述设...

新型全氟离...

一、产品和...