一种电热驱动微结构的制作方法（专利号：201010149262.6）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	201010149262.6
申请日：	2010/4/16
授权公告日：	2012/8/1
专利权人：	大连理工大学
发明人：	杜立群;贾胜芳;李永辉;刘冲;刘军山;徐征

摘要：
本发明是一种电热驱动微结构的制作方法，属于微制造技术领域，涉及在非金属基底上制造金属器件类。通过剥离工艺获得绝缘基底上的导线层；选用与电铸微结构结合力较小的金属材料做为基底；采用牺牲层技术，在不锈钢基底上，通过两次SU-8光刻胶紫外光刻、铜晶种子层的制备和两次镍的微电铸来实现三维电热驱动悬臂微结构的制作；悬臂结构与导线层的连接采用导电胶粘连的方法。本发明具有结构强度高、层与层之间结合牢固、微电铸层内应力小、微结构侧壁垂直度好、尺寸精度高等优点，利用该方法制作的电热驱动微结构悬臂高度可达几百微米，从而可实现大位移运动的要求。