湿度可调高精度闭环配气系统(专利号：201010123679.5)

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	201010123679.5
申请日：	2010/3/11
授权公告日：	2012/11/21
专利权人：	大连理工大学
发明人：	崔远慧;唐祯安;余隽;陈毅;张双岩;魏广芬

摘要：
本发明设计了一种湿度可调的高精度闭环程控配气系统。该系统配气过程实现闭环控制，湿度调节实现闭环控制。系统主要由混合气配制、浓度监测和传感器数据采集及上位机监控四部分组成。混合气配制部分由气源、管道、质量流量控制器、恒温箱、加湿单元、混合腔及减压阀等组成。浓度监测单元由四级杆质谱仪和专用的模数转换卡及串口连接线等组成。传感器数据采集部分由多路数据采集器和多路电枢转换器及USB连接线等组成。上位机监控部分主要对温湿度、浓度监测单元和传感器数据采集单元的数据进行设置和时时处理，最后发送指令，控制整个系统的工作。该系统可以连续配制一种或者多种标准浓度气体，配制的气体成本低、精度高。

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