一种发射光谱诊断低气压等离子体炬空间分布特性的方法（专利号：201110056706.6）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	201110056706.6
申请日：	2011/3/10
授权公告日：	2013/5/8
专利权人：	大连理工大学
发明人：	丁洪斌;李聪;吴兴伟;王宏北;张辰飞

摘要：
本发明公开了一种发射光谱诊断低气压等离子体炬空间分布特性的方法。该方法通过计算机控制精密二维电动平台控制测量点移动；对等离子体炬尤其是低气压等离子体炬进行空间分布特性的诊断，通过分析所得的全光谱，可获得等离子体炬发光强度、电子温度、电子密度、分子转动温度、分子振动温度的空间二维分布，具有较高的灵敏度和空间分辨率。

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