一种真空紫外激光清洗托卡马克第一镜的方法及装置（专利号：201110056878.3）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	201110056878.3
申请日：	2011/3/10
授权公告日：	2014-10-22
专利权人：	大连理工大学
发明人：	丁洪斌；海然；肖青梅；张磊李聪

摘要：
本发明公开了一种真空紫外激光清洗托卡马克第一镜的方法及装置。采用激光消融的方法清除第一镜上的尘埃杂质沉积层，通过控制激光器的输出能量，使作用于第一镜样品表面的准分子激光束的能量密度处于杂质沉积层的清洗阈值与第一镜表面金属的损伤阈值之间，清除杂质的同时不会伤到第一镜表面金属材料。本发明的真空紫外激光清洗第一镜的方法及装置采用波长为193nm的激光与材料相互作用过程中烧蚀效应小，表面均匀性好，尘埃清洗的干净，效果理想。

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