一种平面电化学加工装置（专利号：2013102580740）

摘要：

    本发明一种平面电化学加工装置属于电化学加工领域，特别涉及一种平面电极与工件之间的间隙控制装置。该装置中采用液体静压技术控制极间间隙，该加工装置由旋转工作台、悬浮机构、位置保持机构、加工系统组成。在悬浮机构中，悬浮盘的下端面有三个形状相同的圆弧形液压腔，下端面的中间区域为工作电极，悬浮盘悬浮在工件之上。悬浮盘与配重盘紧密连接，配重盘的上端面上安装有节流器。该装置加工过程中无接触应力，实现了工件表面材料的无损伤去除。大面积平面电极与工件间隙均匀性好，可以实现大面积平面电极与工件的自主平行和电极-工件间隙控制。