一种II-VI族软脆晶体绿色环保研磨抛光方法（专利号：2013101179495）

摘要：

    一种II-VI族软脆晶体绿色环保研磨抛光方法，属于II-VI族软脆晶体加工制造技术领域。其特征是样品为II-VI族软脆晶体，采用固结磨料的防水砂纸，固结磨料磨盘作为研磨工具，磨料为氧化铝、二氧化铈、二氧化硅，粒度为2000-5000。工件和研磨盘转速均为40-80 rpm，压力为15-20 kPa，研磨液为去离子水，研磨时间3-10 min。化学机械抛光液由硅溶胶、双氧水组成，硅溶胶的pH值为6-8，二氧化硅粒径为50-80 nm，pH值调节剂为桔子汁、柚子汁、山楂汁、西红柿汁、柠檬汁中的一种，调节后抛光液的pH值为4-6，工件和抛光盘转速均为40-80 rpm，压力20-30 kPa，抛光时间 20-40 min。本发明的效果和益处是实现了II-VI族软脆晶体绿色环保研磨抛光方法。