一种密封环面形测量方法（专利号：2012104358172）

摘要：

    一种密封环面形测量方法，属于超精密磨削技术领域，采用一个激光位移传感器、一个光学平晶、一个工件轴、一个砂轮轴。其特征在于，激光位移传感器安装在砂轮轴的前端，其射出光束与砂轮轴的回转轴线平行，工件轴和砂轮轴的回转运动能够联动控制，激光光斑中心到砂轮轴的回转轴线的距离和光学平晶的半径需要给定；测量密封环面形时需要测量砂轮轴倾斜角度；通过测量激光位移传感器距光学平晶中心点和外周边上两点的距离来计算砂轮轴的倾斜角度；通过编程实现工件轴和砂轮轴的联动进而带动激光位移传感器扫描密封环表面，然后通过计算得到密封环面形。本发明的效果和益处是能实现核主泵用密封环在超精密磨削加工原位条件下的面形的高精度测量。