专利成果

硅基底多层线圈结构的微型涡流传感器(专利号:2012101937012)

日期: 2016-05-06浏览:

专利号:

2012101937012

申请日:

2012/06/12

授权公告日:

2015/06/11

专利权人:

大连理工大学

发明人:

徐志祥;姜凤娟;尹嘉鹏;孙浩

摘要