专利成果

一种提高电化学法合成硬碳膜中金刚石含量的方法(专利号:2013102800505)

日期: 2016-05-24浏览:

专利号:

2013102800505

申请日:

2013/07/04

授权公告日:

2015/08/19

专利权人:

大连理工大学

发明人:

张贵锋;侯晓多;邓德伟

摘要

    一种提高电化学法合成硬碳膜中金刚石含量的方法,属于先进材料制备的技术领域,涉及到液相电化学沉积类金刚石薄膜。其特征是在反应液中通入氧化剂臭氧气体,由臭氧分解的大量活性氧原子对伴生石墨相有强的刻蚀作用,从而提高薄膜中金刚石相的相对含量。本发明的效果和益处是:活性氧原子有效地抑制了石墨相的生长,使沉积薄膜中的金刚石相对量提高;通入臭氧气体对反应液其搅拌作用,可调节反应温度,提高沉积薄膜的均匀性。