转发基金委:2023年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目 ——“集成电路关键材料前沿探索”项目指南
为贯彻落实党中央、国务院关于加强基础研究和提升原始创新能力的重要战略部署,国家自然科学基金委员会(以下简称自然科学基金委)工程与材料科学部拟资助“集成电路关键材料前沿探索”原创探索计划项目(以下简称原创项目)。集成电路材料是集成电路产业发展的基石,因此自主研发集成电路用关键材料尤为重要。本项目通过材料、化学、物理和信息等多学科的深度交叉融合,针对集成电路制造过程中涉及到的关键金属材料、无机非金属材料及有机高分子材料,...