聚合物光刻胶超声时效的装置和方法（专利号：200810011210.5）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	200810011210.5
申请日：	2008/4/25
授权公告日：	2011/5/11
专利权人：	大连理工大学
发明人：	杜立群;喻立川;王煜;郭照沛

摘要：
聚合物光刻胶超声时效的装置和方法，属于超声波应用领域。其特征是聚合物光刻胶超声时效的装置，包括超声波发生器、超声波换能器、工作台和外壳，其特征在于工作台与超声波换能器相接，外壳支撑工作台和换能器悬空。聚合物光刻胶超声时效的方法，其特征在于：标准工艺清洗硅片，烘干后涂光刻胶，在紫外光下曝光，后烘使SU-8胶交联；对胶层进行超声时效：超声波发生器发出高频电信号，驱动超声波换能器中振动并传递到工作台上。本发明的效果和益处是有效降低聚合物光刻胶层的内应力，避免基板弯曲、应力集中、起胶等影响胶层尺寸精度和结构的现象；同时使工艺参数的选择有更大的弹性，为得到更有效、更多样化的参数组合提供条件，降低了研发成本。

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