一种电热驱动光刻胶微夹钳的制作方法（专利号：200910249060.6）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	200910249060.6
申请日：	2009/12/31
授权公告日：	2011/9/14
专利权人：	大连理工大学
发明人：	禇金奎;张成;张然;王文静

摘要：
本发明一种电热驱动光刻胶微夹钳的制作方法属于微制造技术领域，特别涉及电热驱动微夹钳的制作方法。本发明采用的光刻胶为SU-8胶，制作方法的步骤包括：氧化，涂胶I，曝光I，显影I，溅射金属，涂胶II，曝光II，显影II，腐蚀。微夹钳电极内嵌在SU-8胶中，通过一侧暴露的部分向外引线连接电源。采用的硅片为单晶硅片或多晶硅片；硅片氧化厚度、硅片尺寸和参杂浓度可任意改变。制作工艺步骤简单，加工成本较低，加工周期短，可批量生产。制作的电热驱动微夹钳，钳口位移量大，钳体温度低。适用于对微小零件进行微操作或微装配，而且可以直接对细胞操作，在微操作手术中具有广泛的应用价值。

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