一种用于软脆易潮解晶体的非水基无磨料抛光液（专利号：200910010268.2）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	200910010268.2
申请日：	2009/1/20
授权公告日：	2012/1/25
专利权人：	大连理工大学
发明人：	高航;王碧玲;郭东明;康仁科

摘要：
本发明公开了一种非水基无磨料化学机械抛光液，适用于软脆易潮解晶体的抛光。其组成成分是：按重量百分比，油相为40～65％，去离子水为10～22％，余量为表面活性剂。油相为醇或酯的一种，表面活性剂可以采用非离子表面活性剂高碳脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、聚乙二醇辛基苯基醚或聚氧乙烯酰胺的一种。其有益效果是该抛光液配制方法简单，流动性好，无毒、无污染、无腐蚀，稳定性好，不易挥发，使用寿命长。被抛样品表面光洁，粗糙度可达1.7nm，表面无划痕、损伤等缺陷，在室温密闭条件下可以永久保存。

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