高精度可调速直线型微位移工作台（专利号：201010141327.2）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	201010141327.2
申请日：	2010/4/2
授权公告日：	2012/7/4
专利权人：	大连理工大学
发明人：	梁延德;付春楠

摘要：
本发明是一种高精度可调速直线型微位移工作台，属于超精密制造与检测技术领域，特别涉及了逆压电效应和摩擦微驱动技术实现高精度、可调速的微位移工作台。工作台具有微驱动单元、承载板、导向装置和基体，微驱动单元由相互平行且共面布置的第一、第二、第三压电陶瓷驱动器，第一、第二、第三调整片，平面三联柔顺结构和摩擦触角组合而成；平面三联柔顺结构中的左、右椭圆形柔顺结构以及单稳态柔顺结构、四足柔性支撑梁呈中心对称分布。本发明通过压电驱动器和平面三联柔顺机构复合运动实现了精度高、行程大(理论上最大行程无限制)、载荷大、步距及响应频率可调和机电转换效率高的微位移技术，可以满足精密制造、检测以及微操作领域中不同的使用要求。