一种多晶硅熔炼的复合式加热方法及装置（专利号：201010247767.6）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	201010247767.6
申请日：	2010/8/2
授权公告日：	2012/7/25
专利权人：	大连理工大学
发明人：	许富民;谭毅;石爽;李国斌

摘要：
本发明一种多晶硅熔炼的复合式加热方法及装置属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域，特别涉及一种利用感应线圈和石墨加热器复合加热的方式熔炼多晶硅的方法及装置。本方法同时采用感应加热和辐射加热两种方式对加热区进行复合式加热，使硅料熔化并进行熔炼，通过拉锭装置的运动使熔体脱离加热区，实现定向凝固。该装置由真空盖、真空圆桶构成装置的外壳，真空圆桶的内腔即为真空室，真空室内装有进行感应加热的感应线圈和进行辐射加热的石墨加热器。本发明有效地利用了感应加热的高效性和辐射加热的稳定性，保证了熔炼过程的稳定，减小了能耗，提高了加热效率，且该方法简单易行，适合大规模工业生产。