一种静电吸附式微质量传感器（专利号：201110216323）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	201110216323
申请日：	2011/7/31
授权公告日：	2012/11/14
专利权人：	大连理工大学
发明人：	刘书田;赵剑;高仁璟;黄毓

摘要：
一种静电吸附式微质量传感器，属于精密传感技术领域。该传感器的多层梯形梁采用悬臂梁结构，作为微小质量测量的关键元件。多层梯形梁由导电弹性板、上绝缘薄膜、下绝缘薄膜和压电薄膜组成，且各层均为相同的梯形结构。导电弹性板带有均匀电荷，依靠静电力将微质量吸附于相应的测量敏感区域，进而通过测量结构的谐振频率变化得到区域内的质量。梯形结构作为敏感元件在提高传感器灵敏度的同时，利用静电吸附效应将微颗粒固定于多层梯形梁的测量敏感端，有效地避免了因悬臂梁谐振引起被测物脱落或相对振动而造成的测量误差，提高了测量准确度和重复可靠度，可广泛用于微小颗粒称重、危化品及食品安全检验以及微生物、细菌或病毒检测等领域。

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