一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器（专利号：201110117777.2）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	201110117777.2
申请日：	2011/5/7
授权公告日：	2012/11/14
专利权人：	大连理工大学
发明人：	高仁璟;赵剑;刘书田;黄毓

摘要：
一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器，属于传感器技术领域。这种传感器的槽型悬臂梁在固定块一端设有1-2个相同的压电薄膜，在悬臂端覆盖有探测物吸附膜；通过测量悬臂结构在吸附探测物前、后的谐振频率差Δf，进而计算得到探测物的质量m。槽型悬臂梁的引入，增大了自振频率和吸附面积，提高了传感器灵敏度，提升了传感器的测量稳定性。通过压电薄膜可以准确测量由吸附膜质量引起的传感器频率变化，计算得到探测物的质量。该传感器具有结构简单、吸附面积大、质量测量范围宽、稳定性好和灵敏度高等特点，尤其灵敏度比相同尺寸矩形截面质量传感器最大可提高200％，因而可广泛应用于气/液体浓度测量、微小颗粒、粉尘以及微生物如细菌或病毒等测量。

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