一种高热稳定性透明导电薄膜及其制备方法和应用（专利号：201210065335.2）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	201210065335.2
申请日：	2012/3/13
授权公告日：	2013/8/21
专利权人：	大连理工大学
发明人：	叶飞;侯波;曹善鹏;张文征

摘要：
本发明涉及一种透明导电薄膜及其制备方法，所述的透明导电薄膜，是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。本发明的薄膜在保证薄膜热稳定性(＞300℃)和电阻率(＜10-2Ω·m)的同时降低了生产成本；此薄膜具有镓掺杂浓度低、热稳定性高、抗老化能力强、使用寿命长、原材料价格低廉等优点。