一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法（专利号：2012100518153.0）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	2012100518153.0
申请日：	2012/3/1
授权公告日：	2014/4/9
专利权人：	大连理工大学
发明人：	叶飞曹善鹏侯波张文征

摘要：
本发明涉及一种电子束蒸发制备掺杂氧化锌薄膜的低能耗、易实现的工艺方法，属于透明导电薄膜制备领域。该制备方法为电子束蒸发法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其中，蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0.40～0.80Pa。利用上述制备方法制备的掺杂氧化锌薄膜的方块电阻在50～130Ω/□之间、透光率＞90％，可广泛应用于制备太阳能电池、平板显示器和发热薄膜中。

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