MEMS空气放大器离子聚集装置的制作方法（专利号：2012100735403.0）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	2012100735403.0
申请日：	2012/3/19
授权公告日：	2014/6/25
专利权人：	大连理工大学
发明人：	邹赫麟；高帅

摘要：
本发明属于微机电系统(MEMS)领域，涉及一种MEMS空气放大器离子聚集装置的制作方法。其特征是利用微加工方法制作双层结构的SU-8模具，再用浇注方法制作基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)的空气放大器，然后通过PDMS-PDMS键合得到PDMS空气放大器，最后通过PDMS与玻璃的键合来增加装置的强度，进而完成了MEMS空气放大器离子聚集装置的制作；最终得到的空气放大器气体入口缝隙为50μm，并且缝隙可以倾斜各种角度、缝隙与壁面处深度为150μm、中心槽聚集离子位置处深度为350μm。本发明采用SU8模具和PDMS浇注、键合这种较简单的方法制作出空气放大器离子聚集装置，制作工艺简单、成本低、尺寸小并且容易实现。

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