泡沫塑料高功率脉冲磁控溅射表面金属化方法（专利号：201310078681.9）

日期: 2015-03-30浏览:

专利号：	201310078681.9
申请日：	2013/3/11
授权公告日：	2014/10/22
专利权人：	大连理工大学
发明人：	雷明凯；朱小鹏；李昱鹏；吴志立；吴彼

摘要：
一种泡沫塑料高功率脉冲磁控溅射表面金属化方法，属于材料表面工程技术领域。该方法首先对泡沫塑料表面进行表面封闭、清洗和干燥、去应力预处理，而后装样、抽真空、除气；预溅射清洗泡沫塑料工件和溅射靶材；高功率脉冲磁控溅射沉积金属涂层，通过控制脉冲位形、频率、充电电压和溅射/冷却时间实现在泡沫塑料工件表面高离化率、低温沉积金属涂层，制备表面光滑、结构致密、高膜基结合力的金属涂层；最后冷却、取件、检查金属化泡沫塑料表面形貌、硬度和膜基结合力等性能。该方法的优点为：适用于金属化涂层种类广泛；涂层表面光滑致密、膜基结合力强；溅射沉积温度低，塑料泡沫基体不发生变形；安全环保，不使用化学镀工艺所涉及的含Cr6+的铬酸试剂。