一种平板间微纳液膜厚度测试调平方法和装置（专利号：2012103529380）

日期: 2015-12-29浏览:

专利号：	2012103529380
申请日：	2012/9/21
授权公告日：	2014/11/12
专利权人：	大连理工大学
发明人：	周平；康仁科；郭东明；单坤；邹拴庆

摘要：
一种平板间微纳液膜厚度测试调平方法和装置，属于特种加工技术领域，特别涉及电化学加工中工具电极和工件之间微纳液膜厚度的测试和调平。其特征是通过挤压液膜阻力测试结合挤压膜模型分析获得液膜厚度和倾角。具体步骤为在隔振台上安装有角度微调平台，在该平台上安装有底座和侧壁可分离的电解池，工具电极通过力传感器和宏微复合进给机构相连，进行测试时，控制工具电极进行小幅低频振动，通过力传感器测得挤压膜阻力，测试四种不同姿态下的力信号，基于挤压膜原理获得液膜厚度和倾角，根据测量值调平工具电极，重复上述过程可校准粘度，提高测试和调平精度。本发明的效果和益处是：结构简洁，测试不受电解液透明度和导电性变化的影响。

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