一种在线测量PLD薄膜化学计量比及各成分质量的方法（专利号：201310113726.1）

摘要：

    本发明涉及脉冲激光沉积镀膜领域，公开了一种在线测量PLD薄膜化学计量比及各成分质量的方法。首先，在脉冲沉积镀膜过程中，用激光诱导击穿光谱（LIBS）测量沉积的薄膜中各个成分化学计量比；然后，用石英晶体微天平（QCM）测量薄膜总沉积量；最后，将LIBS的结果和QCM的结果相结合，得到薄膜中各成分的质量。本发明基于PLD技术、LIBS技术、QCM测膜厚技术，将LIBS和QCM相结合，弥补了LIBS定量分析比较困难，QCM不能进行物质分辨的不足。本发明能够在脉冲激光沉积镀膜过程中，实时原位在线测量薄膜化学计量比，不会对镀膜过程有干扰，并且方法简单，易于实现。