专利成果

一种用于透射电镜薄膜样品的研磨抛光装置(专利号:2013100150733)

日期: 2016-04-12浏览:

专利号:

2013100150733

申请日:

2013/01/16

授权公告日:

2015/04/08

专利权人:

大连理工大学

发明人:

杨晓琨;叶飞;蒋鑫;石国辉

摘要

    本发明公开了一种用于透射电镜薄膜样品的研磨抛光装置,其特征是圆柱形基体有四个通孔,除中心通孔外,其余三个通孔围绕圆柱形基体底部的圆心均匀分布,并与三个圆柱形支柱滑动配合;旋转螺杆的圆柱状套筒通过螺钉与圆柱形基体上相应通孔固定连接,圆柱状套筒的中心处开有螺纹通孔供螺杆进出;直角棱台上有与圆柱状基体中心的通孔相对应的通孔,螺栓穿过中心通孔将其与圆柱形基体固定连接;直角棱台的棱角处开有半圆形凹槽和三分之二圆形通孔;微分头与直角棱台配合,通过半圆形凹槽固定,并利用螺钉锁紧;本发明具有结构简单,造价低,对楔形样品的倾斜角度可以较为精确的控制,从而增加样品制备的效率,并提高样品研磨的均匀性。