一种内冷却固结磨料研磨盘（专利号：2013101239636）

摘要：

    本发明一种内冷却固结磨料研磨盘属于固结磨料研磨加工领域，特别涉及一种用于硅片、蓝宝石、陶瓷和玻璃等材料单面或双面研磨的内冷却固结磨料研磨盘。研磨盘内部具有冷却液循环通道，研磨盘由含有磨料的多孔磨块、带有多个孔道的基板和开有中心孔及沟槽的分流板组成。每个多孔磨块均通过粘结剂固定在基板上的一个孔道的一端，多孔磨块中大气孔互相连通。分流板中心孔、分流板沟槽、分流板径向沟槽和基板孔道以及多孔磨块中的大气孔构成冷却液循环通道。本发明的研磨盘具有内冷却循环通道，可以增强冷却效果，能够有效地防止研磨盘和工件的烧伤，加工工件的尺寸精度高，表面粗糙度好。