一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器（专利号：2013100145951）

摘要：

    本发明涉及一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器，包括基体、悬臂梁、激励压电薄膜、检测压电薄膜，所述悬臂梁一端固定在基体上，另一端自由悬空，悬臂梁上表面设有激励压电薄膜，悬臂梁下表面设有检测压电薄膜，所述悬臂梁内部设有用于检测的迂回通道，所述悬臂梁固定端设有通道的入口和出口，本发明有益效果为提高了传感器的灵敏度和测量效率。