多晶硅铸锭硅真空固液分离方法及分离设备（专利号：2013102100067）

摘要：

    本发明提供一种多晶硅铸锭硅真空固液分离方法及分离设备。本发明多晶硅铸锭硅真空固液分离方法包括以下步骤：将硅料在容器内熔化成熔融硅料；拉锭至熔融硅料中硅料长晶率达到80~90%时，抽真空使熔融硅料表面形成凝固壳体；通过压杆挤压壳体，所述壳体内部硅液在压力作用下沿着壳体和容器接触缝隙处或者壳体上较薄弱的地方被挤压出，待硅液全部被挤出停止压杆挤压壳体，被挤出硅液在壳体之上凝固，实现上部富集杂质铸锭和下部较高纯度铸锭的分离。本发明在保证富集杂质硅液与高纯度铸锭的分离的同时，抑制反向扩散，同时方便切除富集杂质的铸锭，提高多晶硅生产中的出成率。