一种用于MEMS热管的工质灌注与封装的装置及方法（专利号：2014101384403）

摘要：

    本发明属于MEMS热管的制造和封装领域，提供了一种用于MEMS热管的工质灌注与封装的装置及方法。本发明利用真空泵将MEMS热管抽真空，真空度小于1Pa，关闭真空泵出口阀门；将微量进样器的进样器长针穿过液封和软橡胶密封塞直到MEMS热管空腔内，控制微量进样器将液体工质注射进MEMS热管中；将微量进样器和进样器长针拔出，保持进样器长针的末端于该灌注与封装系统的细玻璃管以上部分；对细玻璃管处加热将细玻璃管熔融，密封管口，完成MEMS热管的工质灌注与封装。本发明减小了灌注后封装工艺过程对热管真空度的破坏，提高了可操作性；微量进样器与进样器长针的组合使得灌注精度达到微量进样器的控制精度，实现工质的高精度灌注与封装。