一种脉冲型大束斑电子束发生装置（专利号：2009103032380）

摘要：

    本发明公开了一种脉冲型大束斑电子束发生装置，属于材料表面改性技术领域。该装置由高压脉冲功率电源、时序控制电路、电子枪及真空室组成。在真空室达到工作压强后，通过高压脉冲功率电源的放电时序控制，电子枪体内形成磁场约束等离子体阳极放电，电子枪阴、阳极之间形成等离子体通道，阴极上施加高压负脉冲，形成阴极表面电子发射，获得大束斑的脉冲型电子束。本发明提供的装置可产生加速电压20～35kV，脉冲持续时间2～4μs，束斑面积Φ60mm，重复频率0.1Hz的电子束，束斑平均能量密度为1～6J/cm2，还具有设计合理、结构简单和自动化程度高等优点，适用于材料表面改性处理技术的研究与应用。