用于硅片超精密磨床的压电式磨削力测量装置（专利号：2009102200641）

摘要：

    本发明一种用于硅片超精密磨床的压电式磨削力测量装置属于传感测控技术领域，特别涉及硅片超精密磨削过程中磨削力的检测。测量装置由底座、压电石英力传感器、上盖、连接螺钉、转接板、梯形套筒、螺母、双头螺柱、法兰盘固定螺钉以及法兰盘组成。底座为一圆环式结构，底座的上表面上安装4个压电石英力传感器，4个压电石英力传感器呈正方形均匀分布，连接螺钉将底座、上盖以及压电石英力传感器刚性连接在一起，构成测力仪组件。压电石英力传感器由2对yx型单元晶组和1对xy型单元晶组组成。本装置具有结构简单，灵敏度高，线性度、重复性好，测量精度高的良好特性。压电式磨削力测量装置能够对硅片磨削加工过程中的磨削力进行实时检测。