各有关单位：
国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（简称02专项）根据实施方案和“十二五”实施计划，安排一批拟于2014年启动的研发项目在全国公开发布，通过竞争择优方式选择优势单位，组织产学研用联盟承担项目。
一、项目申请范围
根据附件1列出的项目指南说明，进行项目申请，编制《项目申报书》。
本次申报指南中的3个项目均要求企业牵头，因此，有意申报的老师请尽快与企业联系，通过省科技厅上报。
二、项目申报与组织方式
由专项实施管理办公室组织，通过行业主管部门、各省（计划单列市）科委（厅、局）向所辖企事业单位发布指南。
申请单位编制项目申报材料，由行业主管部门或各省（计划单列市）科委（厅、局）汇总后统一报送专项实施管理办公室。汇总上报的主管部门需出具正式呈报公函（含项目清单、申报概算表）和落实地方资金的承诺。
专项实施管理办公室对各地方（部门）申报项目进行汇总后，由专项总体组组织专家进行申请材料初审，筛选符合指南要求的单位提交专项办公室，由专项办公室组织评审委员会进行正式评审和重点项目复审，依据评审结果择优委托主承担单位，在专项总体组指导下组织产业联盟和产学研用联盟承担项目。
三、项目申报单位基本要求
1、在中国境内注册的中资控股企业，注册资本为申请国拨经费的10%以上。
2、具备独立法人资格的科研院所和高校等事业单位。
3、同一单位本次主承担项目原则上不超过2项。同一个人负责项目及下设课题/子课题不能超过1项，参与项目不能超过1项。
四、资金集成要求
有资金集成要求的项目，需由地方政府或行业主管部门按照指南要求比例提供出资承诺。最终金额以项目立项后财政审核批复预算为依据。
五、报送要求
每个项目报送《项目申报书》纸质材料一式25份（具体要求见附件3）及电子版（光盘）1份，以及其它材料（见附件2）。预计申报截止时间为5月30日。
六、联系方式
专项办联系人：高华东、陈明
联系电话：010－51530051，51530052
学校联系人：赵美森 刘连峰 84708601 84706700
文件：附件材料
