一种玻璃微纳流控芯片对准装配方法及对准装配装置（专利号：2009103071239）

摘要：

    本发明公开了一种玻璃微纳流控芯片对准装配方法及对准装配装置，属于微小型器件装配领域。该芯片对准装配方法采用显微镜观测玻璃微纳流控芯片的对准状态，采用固定基片，移动盖片的方法实现盖片与基片之间微纳通道对准。其装置采用倒置高倍显微镜观测玻璃微纳流控芯片对准状态，采用三维微移动台机构带动吸附盖片的真空吸盘移动，从而实现盖片的三维微移动。其装置由三维微移动台装置、真空吸附装置、倒置显微镜和微热板四部分组成。采用本发明可以缩短芯片的制造周期，降低芯片的制造成本和难度，能够满足日益复杂的通道间的对准要求。