一、项目简介：

本项目获国家自然科学基金等项目资助。

硅片传输机器人是集成电路（IC）制造装备中的重要设备，也是IC制造装备中的关键技术。本硅片传输机器人的特点是高精度、高速度、高洁净，可满足半导体制造业中高精度、高净化的环境要求，控制系统采用基于PC平台、具有开放式体系结构和网络功能的机器人控制器。硅片传输机器人的技术指标已达到国外同类产品的水平。

该技术项目开发的硅片传输机器人系列化产品为极坐标型机器人（R-θ型径向直线运动机器人)，由单臂型机器人和双臂型机器人二个系列产品组成。R-θ型硅片传输机器人有3个运动范围，分别为R轴（径向)、θ轴（旋转）和Z轴（升降)，末端执行器可自动翻转。R轴、θ轴、Z轴分别为交流伺服电机驱动，末端执行器为翻转气缸驱动，抓取工件为真空吸附。硅片夹持范围为 100mm- 300mm，负载为200g,位置重复精度Z轴为±0.02mm，θ轴为±0.01°,R轴为±0.05mm，硅片的夹持方式包括真空夹持和边缘夹持。净化等级为10级。

二、应用范围：

硅片传输机器人是半导体制造业中必不可少的装备，其功能是实现不同规格的硅片在不同半导体制造设备以及同一半导体制造设备中不同工位之间快速、高效、可靠的转移。它可以广泛应用于具有高精度、高洁净度要求的半导体制造设备，也可推广应用于医药、化工等行业中，具有广阔的应用前景。

生产条件：

硅片传输机器人不需要特殊的生产条件，具有通用设备生产能力的企业均可进行本硅片传输机器人的生产。

三、 知识产权情况：

授权发明专利5项，发表论文20余篇。

1）一种真空机器人. 发明专利，ZL200910307930.0

2）一种磁感应式磁力传动器. 发明专利，ZL 200910307931.5

3）一种双臂玻璃基板传输机器人. 发明专利，ZL 200810010564.7

4）一种玻璃基片传输机器人. 发明专利，ZL200710159314.6

5）一种净化机器人. 发明专利，ZL200610048064.4

四、 规模与投资：

对于具有通用设备制造能力的企业，生产硅片传输机器人，基本不需要追加投资。

五、 提供技术的程度和合作方式：

提供成熟技术，包括设备图纸等。技术转让，合作开发，专利许可等方式进行合作。

六、配图：

硅片传输机器人

七、产业化程度：

中试阶段。